Bu dosyalar yer yüzündeki neredeyse bütün programlarda var ve bunu iptal edebilme gibi bir şansın yok cacheler backuplar herzaman oluşmak zorundadır işte %temp% klasörü bu yüzden vardır içindeki dosyalar program kapandığında otomatik silinir zaten ya da senin silmen bir şey kaybettirmez.
Ama şöyle bir çözüm var bende aynı sorunu yaşadım bir kere, cacheleri C:'ye değilde D: de oluştur user prefences ya da settings felan yani bütün programlarda ayarlanabilir bişey bu internetten nasıl değiştirebileceğini bulabilirsin böylece sorun çözülmüş olur...